Evoluzione di un sensore per un rugosimetro ottico

BALDI, ANTONIO;LEBAN, BRUNO;BERTOLINO, FILIPPO;GINESU, FRANCESCO

2002-01-01

---

Abstract

Il lavoro presenta la nuova versione del sensore interferometrico di distanza precedentemente realizzato che, pur mantenendo l’elevatissima risoluzione, consente di superarne le limitazioni: grazie al principio di misura adottato, l’apparecchiatura è infatti in grado di risolvere differenze di distanza submicrometriche o addirittura sub-nanometriche a seconda che sia utilizzato in modalità digitale o analogica. Il superamento dei limiti precedentemente insiti nella configurazione ottica adottata consente di pensare ad utilizzi alternativi quali il rilevamento della microgeometria di componenti meccanici, questo però a patto di analizzare superfici di elevata qualità, per cui tale strumento ben si presta alla ricostruzione della microgeometria di superfici superfinite. Dopo una descrizione della configurazione ottica—si tratta essenzialmente di un interferometro di Twyman Green, modificato in modo da generare due segnali in quadratura grazie all’utilizzo di luce polarizzata ed un reticolo di difrazione—i vari sotto sistemi, meccanico, elettronico e software sono illustrati in dettaglio; viene anche illustrata la modifica necessaria a trasformare il sensore in un profilometro tramite l’introduzione di un ulteriore elemento ottico. Il lavoro termina con la verifica delle prestazioni.